TAN系列

對(duì)位平臺(tái)

● 直線和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的超薄舞臺(tái)

● 可同時(shí)實(shí)現(xiàn)直線2 軸和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)

● 高精度高剛性的鑄件

● 高剛性的滾珠軸承、及LM 導(dǎo)軌

● 使用快速應(yīng)答性的伺服馬達(dá)

● 使用快速應(yīng)答性的伺服 Ampfilter

● 應(yīng)對(duì)多種尺寸適用場(chǎng)所

● 半導(dǎo)體制作設(shè)備及檢測(cè)裝置

● 印花基板制造設(shè)備及檢測(cè)裝置

● 液晶面板制造設(shè)備及檢測(cè)裝置等