TAN系列

對位平臺

● 直線和旋轉運動的超薄舞臺

● 可同時實現(xiàn)直線2 軸和旋轉運動

● 高精度高剛性的鑄件

● 高剛性的滾珠軸承、及LM 導軌

● 使用快速應答性的伺服馬達

● 使用快速應答性的伺服 Ampfilter

● 應對多種尺寸適用場所

● 半導體制作設備及檢測裝置

● 印花基板制造設備及檢測裝置

● 液晶面板制造設備及檢測裝置等